国家/地区 日本(3) 美国(3)
IPC部 C(5) H(3)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2017(5)
申请年 2015(5)
专利权人