国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4) C01(4) C23(4)
H01(2)
IPC小类 B82Y(4)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2011(4)
申请年 2010(4)
专利权人

AGO HIROKI, ITO YOSHITO, TANAKA IZUMI, MIZUNO SEIGI, TSUJI MASAHARU, AGO H, ITO Y, TANAKA I, MIZUNO S, TSUJI M, MIZUNO K