国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B82(4)
C01(4)
C23(4)
H01(2) |
IPC小类 |
B82Y(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(4) |
申请年 |
2010(4)![]() |
专利权人 |
AGO HIROKI, ITO YOSHITO, TANAKA IZUMI, MIZUNO SEIGI, TSUJI MASAHARU, AGO H, ITO Y, TANAKA I, MIZUNO S, TSUJI M, MIZUNO K
CHENG I F, MCILROY D N, FOUTCH J, GRIFFITHS P R