| 国家/地区 | 美国(5) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
| IPC部 |
C(6)
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| IPC大类 |
C01(6)
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| IPC小类 |
C01B(6)
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| IPC |
C23C016/26(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2016(6)
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| 申请年 | 2015(3) 2016(2) |
| 专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
BOINTON T H, BARNES M D, RUSSO S, CRACIUN M, HARDISTY BOINTON T
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
HSIEH Y, HOFMANN M, CHIU Y
