国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)
G02(6)
C01(3)
B32(2) H05(2) |
IPC小类 |
C23C(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | LI G(2) |
公开年 | 2013(2) 2020(2) |
申请年 | 2013(2) 2020(2) |
专利权人 |
SANG T, LI G, QI H, YIN X, WANG X
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H