国家/地区 中国(5) 美国(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B22(6)
IPC小类 B22F(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人 FU J(2) MA Y(2) SHEN H(2)
YANG J(2) ZHANG W(2)
公开年 2022(4) 2016(2)
申请年 2015(2)  2022(2) 
专利权人 SHANGHAI XIN.(2) ZHEJIANG CHI.(2)