国家/地区 韩国(4) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 法国(2) 日本(2)
IPC部 C(6) B(3) H(3)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) B05D(2)
B32B(2) B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2010(6)
申请年 2009(3)  2010(2) 
专利权人