国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) H01(2)
IPC小类 C23C(5) H01L(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人 WANG C(5)
公开年 2016(5)
申请年 2016(3)  2015(2) 
专利权人 SHANGHAI ADV.(3) LIAONING ADV.(2) SHENYANG INS.(2)