国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)
B32(3)
C01(3)
G02(3) B82(2) H05(2) |
IPC小类 |
C23C(4)
B32B(3)
C01B(3)
G02F(3) B82Y(2) G02B(2) |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(4)![]() |
申请年 | 2013(3) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
CHEN Z, WANG B, YU G, ZHANG H, ZHANG Y
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S