国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4) B32(3) C01(3)
G02(3) B82(2) H05(2)
IPC小类 C23C(4) B32B(3) C01B(3)
G02F(3) B82Y(2) G02B(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2013(3) 
专利权人