国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) C01B(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人 CHEN C(4)
公开年
申请年 2016(2) 
专利权人