国家/地区 印度(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 C23(8) C01(7) B82(6)
B05(3) H01(3) B32(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(8) C01B(7) B82Y(6)
B05D(3) H01L(3) B32B(2)
C30B(2)
IPC C23C016/26(8)
发明人
公开年 2011(2) 2020(2) 2021(2)
申请年 2019(2) 
专利权人