国家/地区 中国(3) 美国(2)
IPC部 C(5) F(3) B(2)
H(2)
IPC大类 C23(5) C01(2) F16(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(2) F16H(2)
H01L(2)
IPC C23C016/27(5)
发明人 LI J(2)
公开年 2021(5)
申请年 2021(5)
专利权人