国家/地区 | 中国(3) 美国(2) |
IPC部 |
C(5)
F(3)
B(2)
H(2) |
IPC大类 |
C23(5)
C01(2)
F16(2)
H01(2) |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(2)
F16H(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/27(5)![]() |
发明人 | LI J(2) |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
WANG B, LI H, YI J, YANG G, CHU W, JIANG N, SONG H
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
LI J, LUO J, ZHANG R, SUN S