国家/地区 |
美国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)
C01(2)
H01(2)
|
IPC小类 |
C23C(3)
C01B(2)
H01L(2)
|
IPC |
C23C016/30(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 |
2016(3)![]() |
专利权人 |
PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, PARK C H, CHO S M, SEO S A, SHIN S M
SUH H, SONG Y, WU Q, LEE S, KIM M, PARK S, KIM M W, LEE S J, PARK S W, SONG Y J, SUH H S
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z