国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
LI Z, ZHANG L, TU R, XU Q, ZHANG S
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K