| 国家/地区 |
中国(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
C23(3)
H01(2)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C23C016/32(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 |
2021(3)
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| 专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
