国家/地区 台湾(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) B32B(3) B82Y(3)
C01B(3) B82B(2) H01L(2)
IPC C23C016/455(5)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2014(2)  2015(2) 
专利权人