| 国家/地区 | 美国(5) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(5)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C016/02(5)
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| 发明人 | NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) |
| 公开年 |
2021(5)
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| 申请年 | 2020(3) 2021(2) |
| 专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) |
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
