国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(3)
B32(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2015(3) 
专利权人