| 国家/地区 | 美国(3) |
| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 | C01B(3) C23C(3) |
| IPC |
C23C016/26(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2017(3)
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| 申请年 | 2016(3) |
| 专利权人 |
CHIU J, YEH C, CHIU P, QIU B, QIU R, YE Z
YOON S, PARK B, YOON S G, PARK B J
