国家/地区 美国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) H(3) B(2)
IPC大类 C01(6) C23(6) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/52(6)
发明人 NAGEL C J(2)
公开年 2021(6)
申请年 2020(6)
专利权人 QUANTUM ELEM.(2)