国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B82(5)![]() |
IPC小类 |
B82Y(5)
C23C(5)
C01B(4)
H01L(2) |
IPC |
B82Y030/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | |
专利权人 |
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
MALECKI H C, DAHNE J L, LOEBACH J P, GAIGLER R L, LEDFORD J T, MALECKI H, DAHNE J, LOEBACH J, GAIGLER R, LEDFORD J