国家/地区 中国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C23C(6) B82Y(4)
B22F(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2013(2) 
专利权人