国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4) C01B(4) C23C(4)
C30B(4) B05D(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年
申请年 2009(2) 
专利权人