国家/地区 中国（3）
IPC部 C（3）
IPC大类 C01（3） C23（3） B82（2）
H01（2）
IPC小类 C23C（3） B82Y（2） C01B（2）
H01L（2）
IPC C23C016/56（3）
发明人
公开年 2021（3）
申请年 2021（2） 
专利权人

Method for production of atomic bilayer nanotape, involves oxidizing portion of monolayer to provide oxidized portion, and removing oxidized portion to provide atomic layer nanotape comprising transition metal dichalcogenide material.

HARUTYUNYAN A R, LI X

Forming layer, comprises e.g. exposing substrate to aromatic precursor in processing chamber, rinsing aromatic precursor from processing chamber, and heating substrate deposit graphene hard mask layer on substrate.

BHUYAN B J, LEONCINI A

Producing polymer-coated graphene layer structure involves e.g. adding substrate to reaction chamber, supplying flow comprising precursor compound to form graphene layer structure, heating and spin-coating using polymer or polymer precursor.

GLASS H, GUINEY I, TYLER M, WALLIS R, THOMAS S, TAYLOR M