| 国家/地区 | 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 法国(2) 日本(2) |
| IPC部 |
C(5)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C028/00(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2013(5)
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| 申请年 | 2011(2) 2013(2) |
| 专利权人 |
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
CHAE S J, CHOI J Y, FETHULLAH G, LEE Y H, SHIN H J, YAO F
