| 国家/地区 | 美国(4) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(5)
|
| IPC大类 |
C01(5)
C30(5)
C23(4)
H01(2) |
| IPC小类 |
C01B(5)
C30B(5)
C23C(4)
H01L(2) |
| IPC |
C30B025/02(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2014(2) 2015(2) |
| 申请年 |
2014(5)
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| 专利权人 |
BABUL T, OBUCHOWICZ Z, KOWALSKI S, BLASZCZYK J
