国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 H01(6) C23(4) C09(3)
C01(2) C08(2)
IPC小类 H01L(6) C23C(4) C01B(2)
C08G(2) C09D(2) H01B(2)
IPC H01L051/00(6)
发明人
公开年 2021(6)
申请年 2020(5) 
专利权人