国家/地区 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C23(7) C01(4) H01(4)
B01(3) B82(3) A61(2)
B32(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(4) H01L(4)
B01J(3) B82Y(3) B32B(2)
IPC C23C016/02(7)
发明人
公开年 2016(3) 2017(2) 2018(2)
申请年 2016(7)
专利权人