国家/地区 德国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B32(6)
IPC小类 B32B(6) C01B(4) B82Y(3)
H01L(3) C23C(2)
IPC B32B009/00(3) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) H01L021/04(2)
H01L029/78(2)
发明人
公开年 2012(4) 2013(2)
申请年 2011(6)
专利权人 INT BUSINESS.(3)