国家/地区 台湾(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/04(5) C01B031/02(4) B82Y040/00(3)
B82B003/00(2) B82Y030/00(2) C23C016/26(2)
H01L021/02(2) H01L051/00(2)
发明人 MILLEN K(2) MUELLEN K(2)
公开年 2013(2) 2015(2)
申请年 2013(5)
专利权人 BASF CHINA C.(2) BASF SE(2) MAX PLANCK G.(2)