国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) B01J(2) B05D(2)
B22F(2) B82Y(2) C01B(2)
C25D(2) H01L(2) H01M(2)
IPC C23C018/12(3)
发明人 GABEN F(2)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人