国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B32B(3)
B82Y(3) C25D(3) B82B(2)
C25F(2) H01L(2) H01M(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年
申请年
专利权人