国家/地区 美国(9) 中国(6) 日本(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 台湾(3) 西班牙(2)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/26(9)
发明人
公开年 2012(2) 2013(2) 2016(2)
申请年 2011(2)  2012(2)  2016(2) 
专利权人