国家/地区 中国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 韩国(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/44(5)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2012(4) 
专利权人