国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC B82Y040/00(4) B82Y030/00(3) C01B032/194(3)
C09D011/52(3) C01B032/186(2) C01B032/19(2)
G01D005/24(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2)
发明人
公开年 2022(5)
申请年 2021(3)  2022(2) 
专利权人