国家/地区 美国(6) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) G01(4) C01(3)
C25(2) H01(2)
IPC小类 C23C(6) G01L(4) G01N(4)
C01B(3) C25D(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(6) C23C014/30(5) C23C014/18(4)
C23C016/01(4) C23C016/02(4) G01L001/18(4)
G01N021/65(4) G01N027/02(4) C23C014/04(3)
C01B031/04(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
C23C014/02(2) C23C014/24(2) C23C014/34(2)
发明人 ZARETSKI A(6)
公开年
申请年 2016(2) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(6)