| 国家/地区 | 中国(3) 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(6)
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| IPC大类 |
C01(6)
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| IPC小类 |
C01B(6)
C23C(6)
B82Y(4)
H01L(3) |
| IPC |
C01B032/184(6)
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| 发明人 | YAMAGUCHI J(2) |
| 公开年 | 2019(4) |
| 申请年 |
2019(6)
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| 专利权人 | FUJITSU LTD(2) |
SUNG C, HU S C, LIN I, YU C
