国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4) C03C(4) C23C(4)
B32B(3) B44C(3) B82Y(2)
C23F(2) C25F(2) H01L(2)
IPC C03C015/00(4)
发明人
公开年
申请年
专利权人