| 国家/地区 | 中国(3) 美国(2) |
| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 | C01(4) C23(4) |
| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C014/08(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) |
| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 |
CHEN X, HOU M, YAN L, XIE B, GUO Y, CHEN Y
LI J, XIE Y, HOU Y, XIE G, YANG B
