国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) C01(3) H01(3)
C30(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) C30B(2)
IPC C23C014/16(5)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人