| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 | C01(4) C23(4) |
| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C014/58(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(3) |
| 申请年 |
2021(4)
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| 专利权人 |
ZHENG X, LIU W, YU X, YU Y, LIU J, YANG X
