| 国家/地区 | 中国(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C23(3)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
C30B(3)
B82Y(2)
C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/02(3)
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| 发明人 | LEI T(2) ZHANG Y(2) |
| 公开年 |
2012(3)
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| 申请年 | 2011(2) |
| 专利权人 | UNIV XIDIAN(2) |
DENG P, GUO H, LEI T, ZHANG K, ZHANG Y
LEI T, WANG D, TANG X, LEI J, WANG Y, ZHANG Y, WANG H
