国家/地区 |
美国(7)![]() |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(4) 2020(2) |
申请年 | 2012(2) 2013(2) 2018(2) |
专利权人 |
PARK J, SIM Y, KIM J, SIM Y M, PARKJAEHYUN
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S