国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H