| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C23(3)
C01(2)
H01(2)
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| IPC小类 |
C23C(3)
C01B(2)
H01L(2)
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| IPC |
C23C016/34(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 |
2011(3)
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| 专利权人 |
KIM H K, YANG W S, GEUN K H, SEOK Y U
DING G, JIANG M, TANG S, XIE X
