国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C30B(6) B82Y(4)
B32B(3) C23C(3) H01L(2)
IPC C30B023/02(6)
发明人
公开年
申请年 2011(2) 
专利权人