国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B01(4)![]() |
IPC小类 |
B01J(4)![]() |
IPC |
C23C016/56(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M
CHOI J, SHIN H, YOON S, CHOI J Y, SHIN H J, YOON S M, IN Z