国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3) 法国(3) 美国(3) 日本(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3)
B81C001/00(2) C01B031/02(2) C01B032/184(2)
C23C016/26(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人 ZENASNI A(3)
公开年
申请年 2011(2) 
专利权人 COMMISSARIAT.(3) COMMISSARIAT.(2)