国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/04(3) C23C016/26(3) C30B029/02(3)
C01B031/02(2) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
发明人
公开年 2015(3)
申请年 2014(2) 
专利权人