| 国家/地区 | 韩国(2) 台湾(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C23C016/02(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2022(3)
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| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 |
DIXON S, KAINTH J, JAGT R, GUINEY I, BADCOCK T J
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
