| 国家/地区 | |
| IPC部 |
B(3)
|
| IPC大类 |
B01(3)
|
| IPC小类 |
B01J(3)
|
| IPC |
C23C014/14(3)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) |
| 申请年 |
2021(3)
|
| 专利权人 |
NARUTSUKA S, NAKAJIMA R
VINIT K, KIM H U, LEE J, SEOK H, KIM T, KIM T S, SEOK H H, WOO K H, CANADEVINIT
